专利择要显示,本发明涉及一种硅晶片糙面减薄蚀刻液及其制备方法与运用,所述的硅晶片糙面减薄蚀刻液按照重量份打算,包括如下组分:硝酸15‑20份;纤维素类增稠剂1‑5份;酸性磷酸氟1‑5份;四氟硼酸盐1‑3份;超纯水20‑30份...
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