专利择要显示,本发明公开了基于改良型还原炉钟罩洗濯系统的洗濯方法,属于多晶硅生产中还原炉钟罩的洗濯工艺及设备技能领域,改良型还原炉钟罩洗濯系统包括净水箱、烘干装置、三维洗罐装置和废水箱,净水箱包括上方的碱液槽、脱盐水槽、超纯...
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