该项目为IC 前工序生产无尘车间,采取了港湾式的支配办法。这种支配办法的优点是将工艺设备分为前、后区,前区为职员操作区(硅片暴露区 ,后区为工艺设备接管区,前后区清洁度区分明显,真正影响产品质量的是前区。将前后区区分开后,清...
没有更多内容