该项目为IC 前工序生产无尘车间，采取了港湾式的支配办法。这种支配办法的优点是将工艺设备分为前、后区，前区为职员操作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区，前后区清洁度区分明显，真正影响产品质量的是前区。将前后区区分开后，清洁度哀求高的区域的面积也会减少，以减少全体系统的循环风量，降落能耗及工程造价。
CEIDI西递在设计时，根据ISO标准，将该清洁室生产前区的清洁度等级设为2.5级和3.5级，温度哀求为±221℃，相对湿度哀求为45%±5%;该清洁室生产后区的清洁度等级为6级和7级，温度哀求为±223℃，相对湿度哀求为30%-60%。
在本项目中，清洁室系统采取新风集中处理机组(MAU)+风机过滤单元(FFU)+干式冷盘管(DDC)的办法，其空气处理过程为：循环风经设置在一层的干式冷却盘管冷却后，进入上部送风静压箱，与处理后的新风稠浊，经FFU加压、过滤后送入生产区。
个中，MAU的紧张浸染是供应清洁室需求的新风，掌握清洁室的湿度，同时通过变频调节来坚持清洁室的正压环境;DDC紧张承担清洁室的显热负荷;而FFU则过滤循环空气来知足清洁室的清洁度。这种办法与传统的循环送风办法比较有明显的上风，FFU具有灵巧性，可适应工艺变革，当工艺发展须要提高空气清洁度级别时，采纳增加FFU数量或改换更高效率的过滤器就可达到提高清洁度等级的目的。FFU采取负压密封使其简化而可靠，也便是说，清洁区内的空气压力大于送风静压箱内的空气压力，这就极大地降落了尘埃微粒通过缝隙进入清洁室的几率。此外，采纳这种办法也可大大节省空调机房的面积。
相对付其他工业清洁室，IC家当无尘车间有面历年夜、清洁等级高、温湿度掌握精度高档特点。专注于清洁工程领域十余年的EPC集成做事商CEIDI西递，做事浩瀚有名清洁工程，其设计师擅于在知足工艺生产哀求的条件下，综合考虑可靠性、灵巧性、安全性、能源效率、初投资等成分进行设计。在江浙沪地区项目多，施工履历丰富，有须要的企业可以登录海西递实业有限公司官网理解更多信息。
