二氧化硅

南大年夜光电申请孔道填充方法及应用专利尤其适用于半导系统编制造中精湛宽比和小开口的孔道填充

专利择要显示，本发明揭示了一种孔道添补方法及运用，所述方法包括以下步骤：供应一表面形成有孔道的基体；将有机硅酯及碱溶液至少施加于基体表面的孔道内；有机硅酯在碱溶液中进行 Si‑O‑Si 聚合反应，掌握聚合反应的温度和/或韶光...

duote1232024-12-24

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